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真空旋转涂膜机
  • 型   号:VTC-100PA
  • 价   格:

VTC-100PA真空旋转涂膜机适用于半导体、晶体、光盘、制版等表面涂覆工艺。本机可用于强酸、强碱性涂覆溶液的涂膜制备。

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VTC-100PA真空旋转涂膜机

产品概述:

VTC-100PA真空旋转涂膜机适用于半导体、晶体、光盘、制版等表面涂覆工艺。本机可用于强酸、强碱性涂覆溶液的涂膜制备。

主要特点:                    

  • 真空吸附方式固定样件,操作简便。
  • 使用定位工具可将样件很容易地放在中心位置,以减少偏心而造成的震动或飞片。
  • 根据样件规格可以配用不同的吸盘,且更换方便简单。
  • 设有12组程序,每组包含6个运行阶段。
  • 电机启动快速稳定,可以保证涂层厚度的一致性和均匀性。
  • 50W/24V 直流电机
  • 适于在Ar气环境中工作(真空泵放置在手套箱外)

参数:

  • 电机功率:50W/24V
  • 速度范围:500-10000rpm
  • 程序运行:可储存12组程序,每组程序包含6个运行阶段
  • 增减速率设置范围:100rpm/s-2000rpm/s
  • 时间范围:0-60s
  • 吸盘:Φ19mm、Φ60mm

进气口:上盖有一个直径6mm的进气口可将需要的气体通入腔体,实现在气氛环境下旋转涂覆

可选加热部分:上盖内部增加红外灯管加热,采用K型热偶测温,数字温控器控温,zui高120℃,可使得样品涂覆后原位烘干,用于薄膜太阳能电池等研究。

产品规格:

  • 尺寸:450mm×280mm×340mm;
  • 重量:20kg

 

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